泉業股份有限公司-真空單位轉換表

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泉業股份有限公司-大高雄真空城

＝＝常見問題＝＝

A.選擇真空泵需瞭解的規格

1.抽氣速率：即真空幫浦進行抽氣時的速率快慢

2.氣體選擇性：與幫浦結構原理相關

3.終極壓力(Ultimate Pressure)：即幫浦能抽到的最低壓力，通常泵浦本身的結構及密閉性會影響到該設備的

終極壓力

4.排氣口的壓力

5.幫浦清潔度:工作場所是否有要求

B.達不到所需極限真空壓力或速度太慢時故障的原因分析

如果在真空設備中根本未達到所需極限真空壓力，或其只會在超長抽氣期間之後達到，則可能因為發生以下問題：

1.真空系統可能洩漏或髒污

2.泵浦可能髒污或損壞

3.真空計可能故障

C.如果所需極限真空壓力只會在非常長的抽氣時間之後達到，則表示

1.真空系統可能髒污

2.抽氣管線可能受限或直徑太小

3.幫浦可能髒污或容量太小

使抽氣速度可能因其他原因而受限。

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