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＝＝ALCATEL泵浦＝＝
原廠支援 |
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二段式高真空泵浦型錄 (PDF檔)
魯式真空泵浦型錄 (PDF檔)
渦輪泵浦型錄 (PDF檔)
油迴轉式真空泵浦 |
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PASCAL SERIES雙級旋葉油式真空幫浦 |
RSV SERIES(魯式真空幫浦) |
輔助式魯式真空幫浦抽氣系統 |
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高信賴度 可經年長時間運轉 抽氣速率6.5 ~ 72 m3/h 終極壓力 2 × 10-3 mbar |
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堅固、可靠 高抽氣速率 抽氣速率 360 ~ 1310 m3/h |
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搭配各式前級幫浦, 可將工作範圍延伸至中真空甚或高真空區域範圍。 低壓下得到更大的抽氣速率。 抽氣速率:150~300~600~1000~2000 m3/h |
乾式真空泵浦 |
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A100L A300H SERIES |
ADP ADS SERIES TWO |
ACP15 |
ACP120 |
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最精巧的尺寸設計 低噪音、低震動 低運轉成本及高信賴渡 抽氣速率 95 ~ 320 m3/h 終極壓力 6×10-2~6.6×10-3 mbar |
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低耗能及高信賴性 適用於半導體及嚴苛製程 抽氣速率:112~1700 m3/h 終極壓力: 6 × 10-3 mbar |
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低運轉成本 低噪音、低震動 抽氣速率 14 ~ 37 m3/h 終極壓力 3×10-2mbar |
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無油氣及粉塵產生 抽氣速率:112 m3/h 終極壓力: 1.5 × 10-2 mbar |
高真空渦輪分子泵浦 |
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| MDP Series(拖曳式渦輪分子幫浦) | ATH-M Series(全磁浮渦輪分子幫浦) |
ATP Series(渦輪分子幫浦) |
Drytel Series(高真空抽氣系統) |
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高排氣壓力高達40 mbar |  |
ATH 400M, ATH1300M ,ATH1600M,ATH2300M 300~2100 l/s pumping speed 設計 全新磁浮五向動平橫 & N2 purge & Heater 設計 適用PVD, CVD, Etch製程 |
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ATP80 ,ATP100, ATP150, ATP400, ATP900 80~900 l/s pumping speed 全乾式渦輪分子幫浦 |
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Drytel 1025 7.5~30 l/s pumping system |
| 地址:81455高縣仁武鄉仁雄路395巷43-17號 |
電話：07-372-0913 07-372-6635 07-372-6795 傳真 : 07-372-0923 |
| E-mail:pumpf@ksts.seed.net.tw |
| http://www.pumpf.url.tw |
| 南科分公司：台南縣新市鄉永華二街5號7樓 |
| 手機：0939576226
業務:吳銘元先生 |
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